半導体・液晶
ICチップや液晶パネルの製造ラインは、クリーンな環境で製造しています。その様な環境下で製造装置は、絶縁性や耐プラズマ性などが要求されます。セラミック溶射は、そのような環境下で機能を発揮しパーツの寿命延長や再生に役立っております。
コーティング例
カバーリング
石英への溶射
シャワープレート
コーティングをする目的
半導体製造装置への電気絶縁、耐プラズマアタック、ガイドや定盤への耐摩耗
こだわりポイント
セラミック溶射は必要な部分にだけコーティングが可能です。セラミック焼結品から金属＋セラミック溶射に変えることでコストダウンや製作納期の短縮が可能になります。御希望の内容に柔軟に対応いたします。